無(wú)塵凈化車間最主要之作用是控制產(chǎn)品所接觸的大氣的潔凈度以及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為無(wú)塵凈化車間。
凈化車間最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸的大氣的潔凈度以及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為凈化車間。按照國(guó)際慣例,無(wú)塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,凈化車間無(wú)塵是必然的要求。每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下,就達(dá)到了國(guó)際無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)的A級(jí)。目前應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于A級(jí),這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。5μm及以下的微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級(jí)別。
無(wú)塵車間大部分是以工業(yè)鋁材做框架,采用風(fēng)機(jī)濾網(wǎng)機(jī)組送風(fēng),頂部蓋著密縫盲板四周采用防靜的電垂簾形成一個(gè)密縫區(qū),內(nèi)部?jī)艋?jí)別可達(dá)100級(jí)~10萬(wàn)級(jí);特別適用于車間內(nèi)局部對(duì)潔凈度有嚴(yán)格要求的區(qū)域,如流水線作業(yè)區(qū)的高精確度產(chǎn)品組裝區(qū)。
按照無(wú)塵凈化車間管理規(guī)定,無(wú)塵凈化級(jí)別主要就是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子的數(shù)量來(lái)規(guī)定。換種解釋,所謂無(wú)塵并非沒(méi)有一點(diǎn)灰塵,而是把灰塵控制在一個(gè)非常微量的單位上。而且這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒與我們常見(jiàn)的灰塵相比較已經(jīng)是小到微乎其微。但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造來(lái)講,一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都可能會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響。因此在無(wú)塵凈化車間管理規(guī)定中說(shuō)明在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,要求無(wú)塵凈化車間無(wú)塵是必然的。
無(wú)塵凈化車間的結(jié)構(gòu):
1、無(wú)塵凈化車間工程,由中央空調(diào)和空氣凈化系統(tǒng)組成,它們就是凈化系統(tǒng)的心臟。主要控制無(wú)塵凈化車間空氣灰塵微粒數(shù),調(diào)節(jié)車間溫度和溫度。
2、風(fēng)淋室、更衣室、凈化間是潔凈車間凈化系統(tǒng)的三個(gè)基本組成部分。風(fēng)淋室是進(jìn)出潔凈區(qū)的通道,利用噴出的高速潔凈氣流,可以有效并且迅速地清除人體所帶的塵埃及細(xì)菌。凈化間采用夾層彩鋼板隔離空間以及墻壁,上部彩鋼天花吊頂,地板用環(huán)氧樹脂鋪成。
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